Као што сви знамо, постоји само један произвођач на свету, који може да производи ЕУВ литографију, то је холандски АСМЛ.
А разлог зашто је једини на свету, то је зато што ће АСМЛ бити много кључних произвођача у пакету, као што је немачка компанија за оптику Зеисс (Зеисс), а затим Сједињене Државе Цимер, а затим немачка Том Фаст Гроуп (ТРУМПФ ) и тако даље.
АСМЛ је ове произвођаче везао за своју кочију кроз улагања, аквизицију, удео у акцијама, оснивање истраживачких центара и тако даље, а ови произвођачи, вероватно једини произвођачи на свету који могу да производе ове производе, тако да је на крају само АСМЛ у стању да производи ЕУВ литографију у свету.
Међутим, недавно је кључни ланац снабдевања АСМЛ-а отрчао у Шенжен у Кини да изгради фабрику, а његова подружница у Шенжену се настанила у Баоан кинеско-немачком (Европском) индустријском демонстрационом парку.
Овај произвођач је немачка Том Фаст Гроуп (ТРУМПФ), то је АСМЛ-ова ЕУВ литографија, једини светски добављач ласерског извора.
ТРУМПФ производи у ЕУВ литографији, колико су важни? Прво, дозволите ми да објасним принцип ЕУВ литографије, разумећете.
Принцип ЕУВ литографије, поједностављено речено, усредсређен је на три главна система, ЕУВ УВ систем извора светлости, систем објектива и систем столова.
Специфичан процес је да се ласером побуђује таласна дужина од 13,5 нм екстремне ултраљубичасте светлости, а затим се након корекције формира контролисани сноп светлости, а затим се овај сноп светлости пројектује на сто за фотомаску, а затим пројектује кроз објектив. огледало на столу за експозицију, и на крају урезао коло на силиконску плочицу обложену фоторезистом.
Како се добија један од ЕУВ УВ система извора светлости је бомбардовањем калајне (Сн) металне капљице са ЦО2 ласером снаге 30 кВ, испаравањем у плазму и коначно добијањем ЕУВ светлости таласне дужине 13,5 нм.
Овај ЦО2 ласер од 30 кВ обезбеђује ТРУМПФ, једини те врсте у свету.
Не потцењујте овај ЦО2 ласер, има 457.329 делова, дужина кабла у систему је до 7.322 метра, а тежина 17.090 кг, што је једна од најважнијих компоненти језгра у ЕУВ литографији.
Сада је ТРУМПФ отрчао у Кину да изгради фабрику, намера је јасна, односно оптимиста у погледу кинеског тржишта ласера, и још више дугорочног погледа, оптимиста у погледу кинеског тржишта литографије, будућност може да сарађује са Кином на изградњи ЕУВ литографије .
У ствари, већ постоји више од једног АСМЛ ланца снабдевања који иде у Кину да би изградио фабрику, пре него што постоје КМВЕ и други произвођачи, такође у Кину да граде фабрику.
У складу са тренутним трендом, можемо оптимистично очекивати да ће можда неће проћи много времена пре него што ће кинеска технологија литографије бити велики корак напред, па чак и обим излазне ЕУВ литографије, такође се може радовати, мислите ли?
