Током протеклих пет година, глобална производња полупроводника била је практично синоним за геополитику литографских машина. АСМЛ-ови ЕУВ литографски системи постали су једини пасош за напредне процесе: свака компанија која тежи да уђе у чворове испод 5нм мора да прође кроз овог механичког дива-машину која кошта преко 300 милиона долара и која се састоји од 450.000 делова.
Од Аппле-а до ТСМЦ-а, Самсунг-а до Интел-а, темпо иновација у целој индустрији индиректно је ограничен њеним производним капацитетом и ритмом снабдевања...
Недавно је тим професора Куанг Цуифанга у Националној кључној лабораторији за екстремну оптичку технологију и инструментацију (Екстремна оптичка технологија и истраживачки институт за инструментацију) представио своје достигнуће: „10.000-канални 3Д нано ласерски систем директног писања литографије“. Овај пробој пружа нову подршку за испуњавање индустријских захтева за високо{5}}прецизном производњом великих површина у микро/нано обради.
Стручни комитет за научна и технолошка достигнућа Кинеског оптичког друштва једногласно је потврдио: Овај пројекат демонстрира значајну иновацију у архитектури система, алгоритмима за контролу светлосног поља и високо{0}}стратегијама обраде, са укупним показатељима учинка који достижу међународно водеће нивое.
1. Иновација · Померање граница од "сингле-прецизности потеза" до "десет-хиљада- синхронизације потеза"
Технологија директног писања са два{0} фотона ласером, са својом високом резолуцијом, ниским топлотним ефектима, могућношћу без маске-и потенцијалом 3Д обраде, дуго је била на челу микро/нано производње. Налази широку примену у производњи чипова, биомедицини, оптичком складиштењу, микрофлуидици и прецизном сенсингу.
Међутим, традиционално једно{0}}канално ласерско директно писање суочава се са ограничењима брзине обраде, борећи се да испуни индустријске захтеве за високо{1}}прецизном,-производњом великих површина.
„Тренутно, комерцијална опрема широм света још увек претежно користи ласере са једним снопом за -по{2}}тачку штампање 2Д шаблона или 3Д структура на материјалима супстрата. Циљ нам је да подстакнемо трансформативни напредак у целој области и сродним индустријама кроз научне иновације,“ објаснили су{{Оптицс Ектре} из компаније {Оптицс Ектре}, истраживачки рад на инструментима. Институт за оптоелектронику Универзитета Зхејианг и Међународни центар за науку и технологију у Хангџоу (СТИЦ) „Наш уређај високе{8}}прецизности и велике{9} пропусности је по први пут постигао паралелно директно писање са десетинама хиљада ласерских тачака, што представља значајан технолошки продор.
Тим Куанг Цуифанга је иновативно предложио шему контроле светлосног поља која комбинује дигитална микроогледала са низовима микросочива, омогућавајући генерисање преко 10.000 (137×77) независно контролисаних ласерских жаришних тачака унутар система. Енергија сваке жаришне тачке може се фино подесити на преко 169 нивоа, постижући праву више-каналну независну контролу. Уређај ради при брзини штампања од 2,39×10⁸ воксела/с, са брзином и прецизношћу обраде која достижу међународно водеће нивое.
Истовремено, да би се позабавио техничким изазовима као што су неуједначен интензитет светлости и аберације међу више фокусних тачака, тим је развио интелигентни глобални алгоритам оптимизације. Ово је побољшало уједначеност интензитета светлости фокусног низа на преко 95% док је ефикасно исправљало изобличење тачке, значајно побољшавајући конзистентност и прецизност обраде на више канала.
Поред тога, истраживачки тим је предложио више иновативних стратегија обраде. Ово достигнуће није само „међународно водеће” признање, већ и реметилачки технолошки продор. То значи да смо у микроскопском царству израде прецизне структуре коначно прешли са држања једне „игле за вез“ на заповедање ером „десет хиљада игала које везу унисоно“.
2. Лидерство · Пуни{0}}ланац иновација од Фронтиер Сциенце до комерцијализације
Величина технологије не лежи само у скалирању научних висина већ и у премошћивању јаза између лабораторије и индустријализације. Рођење више-каналног 3Д нано-ласерског директног-система за директно{4}}уписивање представља пример такве „иновације-до-краја“, пружајући производне алате за које се некада сматрало да су незамисливе за бројне најсавременије-индустрије.
12-вафер обрађен више-каналним 3Д нано-ласерским системом директног писања
Захваљујући иновативном приступу и истраживању тима, уређај постиже прецизност обраде која се приближава испод-30 нм, брзину обраде од 42,7 мм²/мин и максималну величину писања која покрива 12-инчне силиконске плочице. Академик Ву Ханминг, главни научник у Центру за иновације у науци и технологији, приметио је: „Очекује се да ће ова технологија бити прво примењена у прилагођеним секторима производа са великом потражњом и малим серијама и да ће водити будући развојни правац сродних индустрија.“
У Центру за научне-технолошке иновације, истраживачки институт је успоставио заједничку лабораторију са Хангзхоу Иузхикуан Прецисион Инструментс Цо., Лтд. Ова сарадња се фокусира на решавање-најсавременијих научних изазова у националној технологији ласерске литографије директног писања уз унапређивање комерцијализације високо{4}}иД-научне индустријске инструмената за дубоко интегрисање Р.
Тренутно, институт је постигао прелиминарне споразуме о трансферу технологије са више предузећа у областима укључујући производњу маски, оптичку заштиту од-фалсификовања и АР/ВР. Руководилац пројекта Куанг Цуифанг изјавио је да је ова опрема...
